超高真空多功能磁控溅射设备

来源:自贡大型精密仪器共享平台 发布时间:2016-08-01 点击次数:112 【字体:    

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自贡市大型精密仪器设备资源数据采集调查表

仪器中文名称

超高真空多功能磁控溅射设备

型号规格JGP450
仪器英文名称
仪器所在单位名称材料腐蚀与防护实验室仪器所在地名称四川省自贡市
主要功能及
技术指标

一、主要功能

主要用于纳米级的单层及多层功能膜、各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研究开发,广泛应用于半导体行业、微电子及新材料领域。

二、主要技术指标

1、系统极限真空:主溅射室: 2×10-5Pa,进样室:6.6×10-4Pa。

2、靶的结构尺寸及成膜方式:靶在下,基片在上,向上溅射成膜。主溅射室下底有三个靶枪位,安装两个永磁磁控靶枪,一个电磁磁控靶枪,靶材直径Ф60mm,各靶枪均水冷。靶与基片距离为40~80mm连续可调,并有调位距离指示。

3、衬底基片:样品库内可放置6片基片(Ф30mm),为水冷加热转盘,可加偏压。样品加热温度:室温~500℃。

4、基片在进样室退火,退火温度:最高800℃可控可调。进样室还设有反溅靶,做清洗样品用。

主要应用和
研究领域*
1 农业,2 农产品和食品、3 林业、4 土壤、5 生态环境、6 材料、7 生物医学、8 医药、9 化工、10 地址矿产、 11 珠宝首饰、12 机械工程、13 海洋、14 大气物理、15 水文气象、16 公共安全、17 能源、18 轻工、19 电子与测量、 20 计算机、21 有机化学、22 考古、23 天文、24 其他具体可测试内容(用途):

可多选:()
仪器生产商成都盛达兴业化工工程有限公司其中政府拨款
(万元)

仪器原值(万元)54.8国别
购置日期
使用日期
仪器所在部门名称
通讯地址
邮政编码
仪器负责联系人 电话 传真 E-mail 仪器负责人 电话 E-mail   
仪器组共 ____ 人其中高级______人中级_____人
姓名出生年月学历专业职称特长                        
仪器组技术特色:
仪器所在实验室属于:国家级重点实验室( ) 部委级重点实验(  )  省公共实验室(  )
省级重点实验室( ) 其他( )
仪器所在实验室是否经过实验室认可:是( ) 否(),是否经过计量认证:是( ) 否( )
仪器检定 / 校准情况:
定期检定(  ) 定期校准( ) 不需检定 / 校准(   )
未定期检定/校准(  ) 期间检查情况:有(  )  无(  )
本单位仪器维护人员数
仪器状态:完好(   ) 偶有故障(    ) 故障频繁(    ) 停机待修(   ) 待报废(   )
本单位仪器的使用方向科研教学(  ),质量检测(  ),对外测试服务(  ),其他(  )
收费标准(分别按元/小时:元/样品;元/谱图;元/项目等逐项分列)
仪器每年开机
机时数(小时)

可提供给外单位
年使用机时数(小时)

今年实际对服务
机时数(小时)

今年分析测试样品数(个)
今年对外测试样品数(个)
今年取得的有影响成功数(项)
年所需运行费(万元)


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