单位名称: 系统编号: 入网日期:
自贡市大型精密仪器设备资源数据采集调查表 | |||
仪器中文名称 | 超高真空多功能磁控溅射设备 | 型号规格 | JGP450 |
仪器英文名称 | |||
仪器所在单位名称 | 材料腐蚀与防护实验室 | 仪器所在地名称 | 四川省自贡市 |
主要功能及 技术指标 | 一、主要功能 主要用于纳米级的单层及多层功能膜、各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研究开发,广泛应用于半导体行业、微电子及新材料领域。 二、主要技术指标 1、系统极限真空:主溅射室: 2×10-5Pa,进样室:6.6×10-4Pa。 2、靶的结构尺寸及成膜方式:靶在下,基片在上,向上溅射成膜。主溅射室下底有三个靶枪位,安装两个永磁磁控靶枪,一个电磁磁控靶枪,靶材直径Ф60mm,各靶枪均水冷。靶与基片距离为40~80mm连续可调,并有调位距离指示。 3、衬底基片:样品库内可放置6片基片(Ф30mm),为水冷加热转盘,可加偏压。样品加热温度:室温~500℃。 4、基片在进样室退火,退火温度:最高800℃可控可调。进样室还设有反溅靶,做清洗样品用。 | ||
主要应用和 研究领域* | 1 农业,2 农产品和食品、3 林业、4 土壤、5 生态环境、6 材料、7 生物医学、8 医药、9 化工、10 地址矿产、 11 珠宝首饰、12 机械工程、13 海洋、14 大气物理、15 水文气象、16 公共安全、17 能源、18 轻工、19 电子与测量、 20 计算机、21 有机化学、22 考古、23 天文、24 其他 | 具体可测试内容(用途): | |
可多选:() | |||
仪器生产商 | 成都盛达兴业化工工程有限公司 | 其中政府拨款 (万元) | |
仪器原值(万元) | 54.8 | 国别 | |
购置日期 | 使用日期 | ||
仪器所在部门名称 | |||
通讯地址 | 邮政编码 | ||
仪器负责联系人 电话 传真 E-mail 仪器负责人 电话 E-mail | |||
仪器组共 ____ 人 | 其中高级______人 | 中级_____人 | |
姓名出生年月学历专业职称特长 | |||
仪器组技术特色: | |||
仪器所在实验室属于: | 国家级重点实验室( ) 部委级重点实验( ) 省公共实验室( ) 省级重点实验室( ) 其他( ) | ||
仪器所在实验室是否经过实验室认可:是( ) 否(),是否经过计量认证:是( ) 否( ) | |||
仪器检定 / 校准情况: | 定期检定( ) 定期校准( ) 不需检定 / 校准( ) 未定期检定/校准( ) 期间检查情况:有( ) 无( ) | ||
本单位仪器维护人员数 | |||
仪器状态: | 完好( ) 偶有故障( ) 故障频繁( ) 停机待修( ) 待报废( ) | ||
本单位仪器的使用方向 | 科研教学( ),质量检测( ),对外测试服务( ),其他( ) | ||
收费标准(分别按元/小时:元/样品;元/谱图;元/项目等逐项分列) | |||
仪器每年开机 机时数(小时) | |||
可提供给外单位 年使用机时数(小时) | 今年实际对服务 机时数(小时) | ||
今年分析测试样品数(个) | 今年对外测试样品数(个) | ||
今年取得的有影响成功数(项) | 年所需运行费(万元) |